一、设备名称 设备名称:兆声波清洗机 整机尺寸:具体尺寸根据实际图纸确定 二、设备槪况 尺寸(参考):约3500(L)×1350 (W)×2300mm (H) 清洗件规格:4” 2篮50片 槽体尺寸:200mm*400mm*260mm 槽数:6个 三、应用领域 半导体、太阳能、液晶等 四、设备稳定性 1、清洗良品率≥99% 2、≥0.2um颗粒少于10颗 五、产品简介 1、设备机架采用不锈钢骨架外包PP板,耐酸碱腐蚀; 2、电气区设置在设备后上部,与湿区和管路区完全隔离; 3、槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料; 4、机械手探入湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理; 5、设备排风采用**部百级FFU送新风,台面下抽风,每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖,槽盖下有单独的抽风装置,排风口处设有自动调节风门,即上电打开风门,断电关闭风门,具有风压检测功能,以及氮气、压缩空气压力报警功能; 6、溶液槽中药液自动供液按设定好比例混合,并可在工作过程中根据设定补液;客户根据自身工艺条件自行设定; 7、台面为多孔结构,便于台面上冲洗水、液的排出; 8、操作面设有透明PVC安全门; 9、设备设有漏电、急停、液位、过温、安全门开、漏液、**时等保护和报警装置,保证设备的安全可靠。